



X射线反射率技术(XRR)主要用于测量样品的以下物理特性:
XRR的原理是利用X射线在薄膜表面及界面的反射和折射光的相互干涉。与XRD的衍射原理不同,XRR不仅可以分析结晶薄膜,也可以分析无定形薄膜。XRR是一种无损的分析方法,可以提供关于薄膜和表面的重要信息。例如,通过原子层沉积(ALD)技术沉积的薄膜可以用XRR表征薄膜的厚度、密度和界面的粗糙度。

引用来源:
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