X射线反射率技术主要用于测量样品的哪些物理特性？
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Moonshot回答
X射线反射率技术（XRR）主要用于测量样品的以下物理特性：
- 薄膜厚度：XRR可以分析薄膜的厚度，无论是单层还是多层薄膜。
- 表面粗糙度：该技术能够测量薄膜表面或界面的粗糙度。
- 电子密度分布：XRR可以反映样品内部的电子密度分布情况。
- 界面粗糙度：XRR还可以分析薄膜界面的粗糙度。
XRR的原理是利用X射线在薄膜表面及界面的反射和折射光的相互干涉。与XRD的衍射原理不同，XRR不仅可以分析结晶薄膜，也可以分析无定形薄膜。XRR是一种无损的分析方法，可以提供关于薄膜和表面的重要信息。例如，通过原子层沉积（ALD）技术沉积的薄膜可以用XRR表征薄膜的厚度、密度和界面的粗糙度。
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